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访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展******

　　(第五届进博会)访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展

　　中新社上海11月6日电题：访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展

　　中新社记者李佳佳

　　元宇宙体验、光刻机“开箱”视频和H5虚拟课堂，备受外界关注的全球半导体行业供应商ASML在第五届中国国际进口博览会上，首次通过“元宇宙”平台，带来沉浸式的光刻体验，彰显前沿科技。

　　自1988年交付首台步进式光刻机以来，ASML进入中国市场已有三十余年，见证、亲历和支持了中国半导体产业的发展。

　　“今年是ASML第四次参展进博会，我们希望借助进博会的平台不断地展现开放共赢、合作发展的理念。”ASML全球高级副总裁、中国区总裁沈波表示：“ASML一直秉持开放与专注，以‘开放式创新’和对光刻技术的专注，持续支持半导体行业的发展。在进博会，我们可以与全行业甚至跨行业的企业和合作伙伴加深交流，共商合作前景。”

　　首次在进博会亮相的“ASML元宇宙”之旅给此间观展者带去了身临其境的独特体验。在ASML元宇宙空间里，观展者可以“亲身”进入无尘室，近距离接触神秘的光刻机，更可以结合影视级效果的3D裸眼视频，了解光刻机的内部基本原理——光源经过照明模组投向掩模版，再穿过掩模版上的电路图案，通过投影物镜将影像聚焦到晶圆上。“元宇宙”中还有生动的全方位光刻解决方案动画和丰富多样的科普视频，令观展者沉浸式了解更多有关ASML的故事。

　　“每年我们都会思考以什么样的形式参加进博会”，沈波说，去年，进博会的集成电路专区设立，凸显了外界对产业的关注和重视。希望未来在设立专区的基础上，能够增加宣传和引导，比如举办一些专题或者小论坛，以加深外界对行业的了解。

　　其实，除了光刻机，ASML在芯片制造的成像环节也会提供全方位的光刻解决方案，从光刻机设备本身到计算光刻软件，再到芯片生产过程的量测、缺陷的检查等，ASML均有涉猎。“我们更想跟大家讲讲怎么帮助客户在芯片生产的过程中，在我们的环节上做出足够大的工艺窗口，让芯片生产的质量、精度能够控制得更好，或者让客户的技术进步更顺畅地向前。这是我们今年进博会主要的出发点。”

　　当前，中国已是全世界最大的成熟制程市场，这俨然成为行业的共识。“中国在整个半导体产业链中扮演非常重要的角色，这是所谓‘不确定性中的确定性’。在这种确定的情况下，中国该怎么发展成熟制程，怎么把成熟制程做好，怎么在全球的半导体产业链里把自己重要的角色扮演好，从这个角度看，中国市场的潜力是很大的，中国有全世界最大的终端市场，最活跃的应用市场，终端市场、应用市场反过来可以推动上游设计、制造方面的发展创新。”

　　说起行业未来的发展，沈波坦言，半导体行业自身有一定的周期，有起有伏不是新鲜事。但是从半导体行业过去多年的发展和对未来的预期来看，整体向上的趋势是在的，“只要大趋势在，就会要求有更多的计算、更多的存储、更多新的应用支持，就会带动半导体行业的需求量向上”。(完)

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大湾区工程黄茅海跨海通道项目首个主塔封顶******

　　中新网广州1月9日电 (蔡敏婕岳路建)广东省交通集团9日发布消息称，备受关注的粤港澳大湾区工程黄茅海跨海通道项目建设迎来新进展。当天，随着最后一节塔柱混凝土浇筑完成，5座主塔中，关键工程高栏港大桥东塔首个主塔封顶。

　　黄茅海跨海通道是继港珠澳大桥、深中通道之后，粤港澳大湾区又一跨海通道工程。项目路线全长约31公里，海域段长度约15公里，跨海段设置2座主桥。其中高栏港大桥为主跨700米的双塔双索面全漂浮钢箱梁斜拉桥，双塔总高皆为254.7米。

大湾区工程黄茅海跨海通道项目首个主塔封顶广东省交通集团供图

　　高栏港大桥设计采用混凝土空间曲面圆端形独柱塔，塔柱截面由圆形渐变至圆端形再由圆端形渐变至圆形，最大直径18米，最小直径8.5米，主塔每一节段的空间造型不断变化，导致需求的模板造型均不相同，主塔塑形难度大、施工工艺繁杂。

　　为了实现主塔截面空间曲面线形变化，黄茅海跨海通道建设者将整座主塔分为43节分别制作外模，每节外模由24片弧形板片组成，弧形板片又由数块数控造型板拼接而成。其中，项目创新采用了基于BIM模型的数控雕刻系统，将事先画好的图形转化成坐标数据，导入到数控机床中，使机床能够自动地以“毫米级”的误差制作出数控造型板，保证主塔每一节段外模的标准线形。目前，项目已累计完成数控造型板制造21600块。

　　东塔承建方中交路桥建设有限公司黄茅海通道T3标项目经理曾柯林介绍到：“随着主塔爬升截面尺寸变化，项目通过CNC数控雕刻机切割造型木，精准实现24片弧形板片的裁切或补缝，模板爬架平台也随之增加或减少面板，最终实现了海上小蛮腰空间曲面结构主塔一爬到顶的目标，大幅度降低了爬模施工安全风险”。

　　相较于每一节塔柱的高精度制造，塔身的混凝土外观质量与美感同样重要。由于曲面塔身更易开裂，黄茅海跨海通道项目成立了主塔攻关小组，开发了基于云端的大体积主动温控系统，使得主塔混凝土浇筑及养护过程中内外温差减小，同时对浇筑后的混凝土采用自动养生喷淋系统与防风帆布覆盖养护措施。

　　黄茅海跨海通道管理中心工程部经理沈大为表示：“在浇筑混凝土时，加入抗裂纤维、抗裂剂等多种新型抗裂材料，配合养护措施使用，取得了良好的抗裂效果和养护效果，多种举措并行也实现了每节主塔的高品质建造。”

　　目前，黄茅海跨海通道建设顺利，关键控制性工程黄茅海大桥与高栏港大桥的其余4个塔柱施工全部过200米，预计今年上半年实现全部封顶。项目预计2024年建成通车，建成后，将与港珠澳大桥、深中通道、南沙大桥、虎门大桥，共同组成粤港澳大湾区跨海跨江通道群，助力粤港澳大湾区早日形成世界级交通枢纽。(完)